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发明名称 GITTER-GITTER INTERFEROMETRISCHES AUSRICHTSYSTEM
摘要
申请公布号 DE69530757(D1) 申请公布日期 2003.06.18
申请号 DE19956030757 申请日期 1995.01.20
申请人 SVG LITHOGRAPHY SYSTEMS, INC. 发明人 GALLATIN, M.;KREUZER, L.;NELSON, L.
分类号 G01B11/00;G03F9/00;H01L21/027;(IPC1-7):G01B9/02 主分类号 G01B11/00
代理机构 代理人
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