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Es wird ein Verfahren zur Messung der Dicke einer dünnen, auf einem sich relativ zu einem Sensor bewegenden Träger aufgebrachten transparenten oder semitransparenten Schicht oder Schichtfolge vorgeschlagen, wobei durch entsprechende Belichtung oder Messung über einen großen Raumwinkelbereich und entsprechende Messung bzw. Belichtung über einen kleinen Raumwinkelbereich dafür gesorgt wird, dass auch bei unterschiedlich strukturierter Oberfläche des Trägers oder der Schicht(en) sich Lichtverhältnisse ergeben, die den Verhältnissen bei glatter Oberfläche angenähert sind. Weiterhin erfolgt die Bestimmung der Dicke der transparenten Schicht(en) durch einen Vergleich der tatsächlich ermittelten spektralen Intensitätsverteilung des reflektierten Lichtes mit der in Abhängigkeit von den Kennwerten der vorhandenen Materialien theoretisch im Wege der Berechnung ermittelten spektralen Intensitätsverteilung. Zur Beleuchtung dient vorteilhafterweise eine Ulbricht-Kugel (8), die über einen Sensor (16) mit einer Recheneinrichtung (23) verbunden ist, die mittels erster und zweiter Recheneinheiten (24, 25) und einer Vergleichereinheit (26) eine Kenngröße erzeugt, die über einen Regler (28) die aufgebrachte Schichtdicke steuert.
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