| 发明名称 |
Dünne ferroelektrische Schicht, mit einer dünnen ferroelektrischen Schicht überdecktes Substrat, Anordnung mit einer Kondensatorstruktur und Verfahren zur Herstellung einer dünnen ferroelektrischen Schicht |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69628129(D1) |
申请公布日期 |
2003.06.18 |
| 申请号 |
DE19966028129 |
申请日期 |
1996.12.24 |
| 申请人 |
SHARP K.K., OSAKA |
发明人 |
KIJIMA, TAKESHI;MATSUNAGA, HIRONORI |
| 分类号 |
C01G23/00;C23C16/02;C23C16/40;H01L21/02;H01L21/314;H01L21/316;H01L21/822;H01L21/8242;H01L21/8246;H01L21/8247;H01L27/04;H01L27/105;H01L27/108;H01L29/788;H01L29/792;H01L37/02;H01L49/02;(IPC1-7):C04B35/475;H01L21/320 |
主分类号 |
C01G23/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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