微小型高压流体控制阀

摘要

本发明公开了属于精密仪器的一种微小型高压流体控制阀。该阀主要由中间连接件分别连接致动器和阀座，弹性薄膜装在中间连接件和阀座之间，活动阀堵在中间连接件的导向孔内压在弹簧膜上面，弹性膜将致动部分和流体通道部分隔开，并作为装配密封件。致动器提供阀开关的动力，通过可动阀堵使弹性薄膜变形，开启或封闭流体的出入口，从而实现阀控功能。根据致动器提供的致动力和对阀堵与薄膜层的预紧形式，可得到常开或常闭二种控制阀。该阀结构设计可以较小的致动力控制高压流体，而且阀座部分结构特征为片层，与硅微细加工工艺兼容。其阀座可以有效的减小死区流量，提高控制精度，主要用于微型化学分析仪器，实现微小流量达到纳升到微升范围的精确控制。

主权项

1.一种微小型高压流体控制阀，由致动器和阀体组成，其特征在于：所述阀体以中间连接件分别与致动器和阀座相连接，阀座上分别开有流道槽，出入口；入口位于阀座中心，出口布置在以入口为中心的左右两边，其对称的布置有利于减小流体系统的振动；弹性薄膜置于上述阀座与中间连接件之间，弹性薄膜被压紧在阀座与中间连接件之间的接触面上，保证阀的密封性能；阀堵自由置放于中间连接件中央的阀堵导向孔中，以外置致动器作为阀堵轴向运动的主驱动元件，并以该孔为导向，沿轴向运动；阀堵的下表面与弹性薄膜相接触，并与阀座上的入口对准，致动器给阀堵提供开关的动力，通过可动阀堵使弹性薄膜变形，开启或封闭流体的出入口，从而实现阀控功能。