| 发明名称 |
Methode zur Reinigung der Oberfläche von Halbleiterkristallen von Elementen der II-VI-Verbindungen des Periodensystems |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69721917(D1) |
申请公布日期 |
2003.06.18 |
| 申请号 |
DE19976021917 |
申请日期 |
1997.08.29 |
| 申请人 |
SUMITOMO ELECTRIC INDUSTRIES, LTD. |
发明人 |
DOI, HIDEYUKI |
| 分类号 |
C30B29/48;C30B33/10;H01L21/304;H01L21/306;H01L21/308;(IPC1-7):H01L21/465 |
主分类号 |
C30B29/48 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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