| 摘要 |
Die Erfindung umfasst 1.1 eine erste Teilvorrichtung, umfassend einen ersten Hohlleiter zum Einkoppeln von Mikrowellenenergie, eine erste Gaszufuhreinrichtung sowie eine erste Einrichtung zum Evakuieren eines Beschichtungsraumes; 1.2 eine zweite Teilvorrichtung, umfassend einen zweiten Hohlleiter zum Einkoppeln von Mikrowellenenergie, eine zweite Gaszufuhrleitung sowie eine zweite Einrichtung zum Evakuieren eines Beschichtungsraumes, wobei, 1.3 erste und zweite Teilvorrichtung gegeneinander verfahrbar sind, wobei durch das Verfahren der Beschichtungsraum geöffnet und geschlossen werden kann, in den das zu beschichtende Substrat eingebracht wird. Die Erfindung ist dadurch gekennzeichnet, dass 1.4 der erste Hohlleiter zum Einkoppeln von Mikrowellenenergie, die erste Gaszufuhreinrichtung und die erste Einrichtung zum Evakuieren des Beschichtungsraumes sowie der zweite Hohlleiter zum Einkoppeln von Mikrowellenenergie, die zweite Gaszufuhreinrichtung und die zweite Einrichtung zum Evakuieren des Beschichtungsraumes jeweils koaxial zueinander angeordnet sind. <IMAGE>
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