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发明名称 Erzeugung von gebrauchsfertigen Lösungen
摘要
申请公布号 DE59905534(D1) 申请公布日期 2003.06.18
申请号 DE19995005534 申请日期 1999.07.13
申请人 MESSER GRIESHEIM GMBH 发明人 ESCHWEY, DR.;MAINKA, GERD;HUB, DR. WALTER
分类号 C01B7/01;C01B7/19;C01B15/01;C01C1/02;H01L21/00;H01L21/306;(IPC1-7):C01C1/02 主分类号 C01B7/01
代理机构 代理人
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