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发明名称 VERFAHREN ZUR PASSIVIERUNG EINER CVD-KAMMER
摘要
申请公布号 DE69903531(T2) 申请公布日期 2003.06.18
申请号 DE19996003531T 申请日期 1999.04.14
申请人 TOKYO ELECTRON LTD., TOKIO/TOKYO 发明人 AMEEN, S.;HILLMAN, T.;LEUSINK, GERT;WARD, MICHAEL;YASAR, TUGRUL
分类号 C23C16/14;C23C16/44;H01L21/285;(IPC1-7):C23C16/44;C23C16/56;H01L21/321 主分类号 C23C16/14
代理机构 代理人
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