| 发明名称 |
Ätzkammer mit drei unabhängig von einander gesteuerten Elektroden |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69628170(D1) |
申请公布日期 |
2003.06.18 |
| 申请号 |
DE19966028170 |
申请日期 |
1996.11.04 |
| 申请人 |
INFINEON TECHNOLOGIES AG |
发明人 |
GREWAL, VIRINDER S.;LAUX, VOLKER B. |
| 分类号 |
H01J37/32;(IPC1-7):H01J37/32 |
主分类号 |
H01J37/32 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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