| 发明名称 |
Method for defining a source and a drain and a gap inbetween |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2002348870(A8) |
申请公布日期 |
2003.06.17 |
| 申请号 |
AU20020348870 |
申请日期 |
2002.11.25 |
| 申请人 |
KONINKLIJKE PHILIPS ELECTRONICS N.V. |
发明人 |
MARTIN H. BLEES;MARCEL R. BOEHMER |
| 分类号 |
H01L21/28;C23C18/16;H01L21/285;H01L21/288;H01L21/336;H01L29/417;H01L29/45;H01L29/786;H01L51/05;(IPC1-7):H01L21/285 |
主分类号 |
H01L21/28 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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