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发明名称 PROCESS FOR OPTICALLY ERASING CHARGE BUILDUP DURING FABRICATION OF AN INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 AU2002346599(A1) 申请公布日期 2003.06.17
申请号 AU20020346599 申请日期 2002.12.02
申请人 AXCELIS TECHNOLOGIES, INC. 发明人 KEVIN STEWART;ALAN JANOS;IVAN BERRY;ANTHONY SINNOTT
分类号 H01L21/02;H01L21/268;H01L21/28;H01L21/336;(IPC1-7):H01L21/824 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
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