| 发明名称 |
DEVICE AND METHOD FOR PRODUCING, REMOVING OR TREATING LAYERS ON A SUBSTRATE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2002357434(A1) |
申请公布日期 |
2003.06.17 |
| 申请号 |
AU20020357434 |
申请日期 |
2002.11.27 |
| 申请人 |
OSRAM OPTO SEMICONDUCTORS GMBH |
发明人 |
BERND WECHSELBERGER |
| 分类号 |
C23C16/44;C23C16/455;C30B25/14;H01L21/00;(IPC1-7):C30B25/14 |
主分类号 |
C23C16/44 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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