发明名称
摘要
申请公布号 JP3417482(B2) 申请公布日期 2003.06.16
申请号 JP19910010233 申请日期 1991.01.30
申请人 发明人
分类号 H01L21/762;H01L21/02;H01L21/76;H01L21/822;H01L21/84;H01L27/04;H01L27/12;(IPC1-7):H01L21/822 主分类号 H01L21/762
代理机构 代理人
主权项
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