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发明名称
摘要
申请公布号 JP3417759(B2) 申请公布日期 2003.06.16
申请号 JP19960134911 申请日期 1996.05.29
申请人 发明人
分类号 H01L21/8247;C23C16/44;G01J5/00;G01J5/02;H01L21/26;H01L21/31;H01L21/324;H01L29/788;H01L29/792;(IPC1-7):H01L21/31;H01L21/824 主分类号 H01L21/8247
代理机构 代理人
主权项
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