发明名称 |
VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON GEÄTZTEN SCHALTUNGEN |
摘要 |
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申请公布号 |
AT242590(T) |
申请公布日期 |
2003.06.15 |
申请号 |
AT19990946145T |
申请日期 |
1999.09.09 |
申请人 |
VANTICO AG |
发明人 |
MEIER, KURT;LACHER, ULRICH |
分类号 |
G03F7/26;C23F1/00;G03F7/40;H05K3/00;H05K3/06;H05K3/42;(IPC1-7):H05K3/06 |
主分类号 |
G03F7/26 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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