发明名称 VERFAHREN ZUM HERSTELLEN VON METALLISIERTEN SUBSTRATMATERIALIEN
摘要
申请公布号 AT242820(T) 申请公布日期 2003.06.15
申请号 AT19990926265T 申请日期 1999.04.15
申请人 ATOTECH DEUTSCHLAND GMBH 发明人 MEYER, HEINRICH;SCHULZ, RALF;HEINZ, ROLAND;KLUSMANN, ECKART
分类号 C23C16/02;C23C16/06;C23C16/18;C23C28/02;H05K1/03;H05K3/14;H05K3/38;(IPC1-7):C23C28/02;H05K3/02;H05K3/10 主分类号 C23C16/02
代理机构 代理人
主权项
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