| 发明名称 |
Anlage zur Fertigung von Halbleiterprodukten |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE19921246(C2) |
申请公布日期 |
2003.06.12 |
| 申请号 |
DE19991021246 |
申请日期 |
1999.05.07 |
| 申请人 |
INFINEON TECHNOLOGIES AG |
发明人 |
KLAEBSCH, ROLF-ARNO;HUBER, RONALD |
| 分类号 |
B65G49/00;B65G49/07;B66C13/00;B66C13/48;B66C17/04;H01L21/02;H01L21/677;(IPC1-7):B65G49/07 |
主分类号 |
B65G49/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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