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发明名称 Excimer-Laser Vorrichtung
摘要
申请公布号 DE10196136(T1) 申请公布日期 2003.06.12
申请号 DE20011096136T 申请日期 2001.04.26
申请人 EBARA CORP., TOKIO/TOKYO;KOMATSU LTD., TOKIO/TOKYO 发明人 SUZUKI, NATSUSHI;NARA, HISASHI;YOSHIOKA, SHUNSUKE;BARADA, TOSHIMITSU;OOYAMA, ATSUSHI;NAKAZAWA, TOSHIHARU;SEKIGUCHI, SHINICHI;SHINOZAKI, HIROYUKI
分类号 F16C39/06;H01S3/038;H01S3/225;H02K5/128;H02K7/09;(IPC1-7):H01S3/036;F16C32/04 主分类号 F16C39/06
代理机构 代理人
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