发明名称 CALIBRATION OF A DIFFRACTIVE COMPENSATION OR ABSOLUTE NORMAL ELEMENT (TWIN OR DUAL CGH) BY MEANS OF WAVE FRONT ERRORS OF THE SPHERICAL AUXILIARY WAVE
摘要 Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Kalibrierung eines diffraktiven Kompensations- oder Absolutnormal-Elementes für eine interferometrische Absolutprüfung asphärischer Oberflächen, bei dem ein komplex kodiertes computergeneriertes Hologramm (11, 12), das sowohl eine asphärische Welle, die für eine interferometrische Vermessung der zu prüfenden asphärischen Oberfläche (8) oder Wellenfront geeignet ist, als auch eine sphärische Hilfswelle rekonstruiert, als Kompensations- bzw. Absolutnormal-Element bereitgestellt und auf Basis der sphärischen Hilfswelle interferometrisch vermessen wird, um durch das computergenerierte Hologramm (11, 12) hervorgerufene Wellenfrontfehler der sphärischen Hilfswelle zu bestimmen. Das Verfahren zeichnet sich dadurch aus, dass aus den durch das computergenerierte Hologramm (11, 12) hervorgerufenen Wellenfrontfehlern der sphärischen Hilfswelle Positionierungsfehler eines Schreibstrahls bei der Herstellung des computergenerierten Hologrammes (11, 12) ermittelt und aus den Positionierungsfehlern die zu erwartenden wellenfrontfehler der asphärischen Welle berechnet und als Kalibrierung herangezogen werden. Mit dem vorliegenden Verfahren lässt sich eine vollständige interferometrische Absolutprüfung asphärischer Oberflächen erreichen.
申请公布号 WO03048715(A1) 申请公布日期 2003.06.12
申请号 WO2002EP13631 申请日期 2002.12.02
申请人 UNIVERSITAET STUTTGART;REICHELT, STEPHAN 发明人 REICHELT, STEPHAN
分类号 G01M11/00;G01M11/02;(IPC1-7):G01M11/00 主分类号 G01M11/00
代理机构 代理人
主权项
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