| 发明名称 |
Method of fabricating a probe of a scanning probe microscope (SPM) having a field-effect transistor channel |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US2003107058(A1) |
申请公布日期 |
2003.06.12 |
| 申请号 |
US20030336068 |
申请日期 |
2003.01.02 |
| 申请人 |
LIM GEUNBAE;PAK YUKEUN EUGENE;JEON JONG UP;SHIN HYUNJUNG;KUK YOUNG |
发明人 |
LIM GEUNBAE;PAK YUKEUN EUGENE;JEON JONG UP;SHIN HYUNJUNG;KUK YOUNG |
| 分类号 |
G01Q70/16;(IPC1-7):H01L27/148 |
主分类号 |
G01Q70/16 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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