发明名称 Thermisch stabiles Schichtsystem zur Reflexion von Strahlung im extremen ultravioletten Spektralbereich (EUV)
摘要
申请公布号 DE10011547(C2) 申请公布日期 2003.06.12
申请号 DE20001011547 申请日期 2000.02.28
申请人 FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. 发明人 YULIN, SERGEY;FEIGL, TORSTEN;KAISER, NORBERT
分类号 G02B5/08;G02B5/20;G02B5/28;G03F7/20;(IPC1-7):G02B5/26 主分类号 G02B5/08
代理机构 代理人
主权项
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