PRODUCTION OF MICROSCOPIC AND NANOSCOPIC COILS, TRANSFORMERS AND CAPACITORS BY ROLLING OR FOLDING BACK CONDUCTIVE LAYERS DURING THE REMOVAL OF AUXILIARY LAYERS FROM A SUBSTRATE

摘要

Durch Ablösen der Hilfsschicht (3) von dem Substrat (1), beispielsweise indem eine dazwischen befindliche Opferschicht (2) selektiv weggeätzt wird, klappt die Hilfsschicht (3) zurück und rollt sich gegebenenfalls bei Fortsetzung des Ablösevorgangs selbsttätig zusammen und rollt dabei eine Leiterbahn (4) mit ein. Die Hilfsschicht (3) kann durch zwei Schichten (3a, 3b) unterschiedlicher Gitterkonstante gebildet sein. Es können Mikrospulen, aus solchen aufgebaute Mikrotransformatoren oder Mikrokondensatoren mit Durchmessern im Nano- oder Mikrometer-Bereich hergestellt werden.