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发明名称 Vorrichtung zum Maskieren oder Abdecken von Substraten
摘要
申请公布号 DE59710012(D1) 申请公布日期 2003.06.12
申请号 DE19975010012 申请日期 1997.02.04
申请人 SINGULUS TECHNOLOGIES AG 发明人 KEMPF, STEFAN
分类号 C23C14/04;C23C14/34;H01J37/34;(IPC1-7):C23C14/04 主分类号 C23C14/04
代理机构 代理人
主权项
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