Vertikaler Hall-Sensor

摘要

Die vorliegende Erfindung betrifft einen vertikalen Hall-Sensor, bei dem sich ein elektrisch leitfähiges Gebiet zur Bildung eines Hall-Sensorelementes senkrecht zur Oberfläche eines Substrates in das Substrat erstreckt und mehrere erste Anschlussbereiche entlang einer Seitenfläche an der Oberfläche des Substrates aufweist. Der vorliegende Hall-Sensor zeichnet sich dadurch aus, dass zumindest ein zweites gleichartiges Hall-Sensorelement parallel zum ersten Hall-Sensorelement im Substrat angeordnet und derart mit dem ersten Hall-Sensorelement verschaltet ist, dass beim Betrieb des Hall-Sensors mit einer Spinning-Current-Technik in jeder Spinning-Current-Phase die gleiche Kombination von Steuerstromverteilungen im Hall-Sensor erhalten wird. DOLLAR A Der vorliegende vertikale Hall-Sensor ermöglicht beim Betrieb mit einer Spinning-Current-Technik eine deutliche Reduzierung des Offsets ohne die Notwendigkeit einer Gewichtung der einzelnen Spinning-Current-Phasen.