Verringerung von Aberrationen, die in einem Rasterelektronenmikroskop oder Ähnlichem durch ein Wien-Filter erzeugt werden

摘要

Um eine Auflösung eines Elektronenstrahls bei einem Rasterelektronenmikroskop oder Ähnlichem zu verbessern, in dem ein Wien-Filter (15) zum Detektieren der Teilchen verwendet wird, wird der Strahl (2) so gesteuert, dass er ein Einhüllende (3) mit einem Kreuzungspunkt (19B) besitzt, der innerhalb des Wien-Filters (15) liegt, und zwar vorzugsweise zentral innerhalb des Wien-Filters (15).