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发明名称 Verfahren zur Störungsidentifizierung in einem Plasmaprozess
摘要
申请公布号 DE10196356(T1) 申请公布日期 2003.06.12
申请号 DE20011096356T 申请日期 2001.06.18
申请人 SCIENTIFIC SYSTEMS RESEARCH LTD., DUBLIN 发明人 SCANLAN, JOHN;DANIELS, STEPHEN;LAWLER, JUSTIN
分类号 C23C16/50;C23C16/52;H01J37/32;H01L21/205;H01L21/3065;H01L21/66;(IPC1-7):H01J37/32 主分类号 C23C16/50
代理机构 代理人
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