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经营范围
发明名称
Transportable Feinjustiervorrichtung
摘要
申请公布号
DE10112978(C2)
申请公布日期
2003.06.12
申请号
DE20011012978
申请日期
2001.03.17
申请人
FORSCHUNGSZENTRUM KARLSRUHE GMBH
发明人
ENGELHARDT, FRIEDHELM;HOLLER, HUBERT;KOEHLER, BERND;FLOCKERZIE, HERMANN;PREISING, RUEDIGER;PANTENBURG, FRANZ-JOSEF
分类号
G12B5/00;(IPC1-7):G12B5/00;H01L21/00
主分类号
G12B5/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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