发明名称 Transportable Feinjustiervorrichtung
摘要
申请公布号 DE10112978(C2) 申请公布日期 2003.06.12
申请号 DE20011012978 申请日期 2001.03.17
申请人 FORSCHUNGSZENTRUM KARLSRUHE GMBH 发明人 ENGELHARDT, FRIEDHELM;HOLLER, HUBERT;KOEHLER, BERND;FLOCKERZIE, HERMANN;PREISING, RUEDIGER;PANTENBURG, FRANZ-JOSEF
分类号 G12B5/00;(IPC1-7):G12B5/00;H01L21/00 主分类号 G12B5/00
代理机构 代理人
主权项
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