发明名称 制程间输送系统及制程间输送方法
摘要 一种制程间输送系统,具有:具备处理装置之基座;在各个基座所具备之保管棚;和台车,巡回该等保管棚,用来将半制品从保管棚输送到另一保管棚。其特征是根据处理装置之动作状况和保管棚内之半制品之数目,用来决定输送时期。
申请公布号 TW536514 申请公布日期 2003.06.11
申请号 TW091112088 申请日期 2002.06.05
申请人 三菱电机股份有限公司;菱电半导体系统工程股份有限公司 发明人 大塚浩文;尾形良二;矢鸣太一
分类号 B65G49/07 主分类号 B65G49/07
代理机构 代理人 赖经臣 台北市松山区南京东路三段三四六号一一一二室
主权项 1.一种制程间输送系统,具有:基座,具备处理装置;保管棚,设在各个基座;和台车,巡回该等保管棚,用来将半制品从保管棚输送到另一保管棚;其特征是:根据处理装置之动作状况和保管棚内之半制品之数目,用来决定输送时期。2.一种制程间输送系统,具有:基座,具备处理装置;保管棚,设在各个基座;和台车,巡回该等保管棚,用来将半制品从保管棚输送到另一保管棚;其特征是:更具有半制品之暂时退避用保管棚。3.一种制程间输送方法,在制程间输送系统中,具有:基座,具备处理装置;保管棚,设在各个基座;和台车,可以装载多个半制品;利用该台车用来将半制品从前制程之处理装置所属之基座之保管棚,输送到下一个制程之处理装置所属之基座之保管棚;其特征是:使下一个制程之处理装置之至处理完成之时间和保管棚间之输送时间进行比较,等待利用该台车之输送,直至前述处理完成之时间变成等于保管棚间之输送时间,在该等待期间完成前制程之处理,将聚集在前制程之保管棚之半制品,一起输送到下一个制程之保管棚。4.一种制程间输送方法,在制程间输送系统中,具有:基座,具备处理装置;保管棚,设在各个基座;和台车,可以装载多个半制品;利用该台车用来将半制品从前制程之处理装置所属之基座之保管棚,输送到下一个制程之处理装置所属之基座之保管棚;其特征是:当检测到下一个制程之处理装置不进行动作之情况时,将前制程之完成处理之半制品只一次的从前制程之保管棚输送到下一个制程之保管棚,以下之半制品留置在前制程之保管棚。5.一种制程间输送方法,在制程间输送系统中,具有:基座,具备处理装置;保管棚,设在各个基座;台车,可以装载多个半制品;和半制品暂时退避用之保管棚;利用该台车用来将半制品从前制程之处理装置所属之基座之保管棚,输送到下一个制程之处理装置所属之基座之保管棚;其特征是:在下一个制程之处理装置未动作之情况时,或下一个制程之保管棚已充满之情况时,检测该等情况,使输送到下一个制程之保管棚之半制品,暂时退避到上述之暂时退避用保管棚。6.一种制程间输送方法,在制程间输送系统中,具有:基座,具备处理装置;保管棚,设在各个基座;台车,可以装载多个半制品;和半制品之暂时退避用之保管棚;利用该台车用来将半制品从前制程之处理装置所属之基座之保管棚,输送到下一个制程之处理装置所属之基座之保管棚;其特征是:当下一个制程之保管棚内之半制品之数目超过指定数目之情况时,就使下一个制程之保管棚内之半制品之数目成为小于指定数所需之时间,和经由暂时退避用之保管棚之情况与直接输送到下一个制程之保管棚之情况之输送时间差进行比较,在下一个制程之保管棚内之半制品之数目成为小于指定数所需之时间较长之情况时,就将半制品输送到暂时退避用之保管棚。图式简单说明:图1用来说明制程间输送系统。图2用来说明制程间输送。图3用来说明本发明之主电脑和各种控制器之关系。图4是流程图,用来说明本发明之一实施形态之制程间输送方法。图5用来说明本发明之制程间输送系统。图6用来说明本发明之一实施形态之制程间输送方法。图7用来说明储存器之构造。图8是流程图,用来说明本发明之一实施形态之制程间输送方法。图9是流程图,用来说明本发明之一实施形态之制程间输送方法。
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