| 主权项 |
1.一种适于传送一基材之设备,至少包含:一第一线性导引;一第一滑车,适于沿着该第一线性导引行进;一第二滑车,适于沿着该第一线性导引行进;一第一手臂,具有一枢轴地装设在该第一滑车上之第一端并具有一第二端;一第二手臂,具有一枢轴地装设在该第二滑车上之第一端并具有一第二端;及一基材支撑件,以一第一枢轴与该第一手臂的该第二端连接且以一第二枢轴与该第二手臂的该第二端连接。2.如申请专利范围第1项所述之设备,其中:该第一滑车和该第二滑车朝向彼此被移动以将该基材支撑件从一收缩位置移动到一伸展位置;以及该第一滑车和该第二滑车被移动远离彼此以将该基材支撑件从一伸展位置移动到一收缩位置。3.如申请专利范围第1项所述之设备,进一步包含一驱动机构,适于沿着该第一线性导引驱动该第一滑车和该第二滑车,该第一滑车具有一适于将该第一滑车磁性地耦合至该驱动机构的第一磁铁,该第二滑车具有一适于将该第二滑车磁性地耦合至该驱动机构的第二磁铁。4.如申请专利范围第3项所述之设备,其中上述之驱动机构包含一第二线性导引装设在该第一线性导引之下、一第一驱动车适于沿着该第二线性导引行进且磁性地耦合至该第一滑车、及一第二驱动车适于沿着该第二线性导引行进且磁性地耦合至该第二滑车。5.如申请专利范围第4项所述之设备,其中上述之第一线性导引被置于一真空室内,而该第二线性导引被置于该真空室外。6.如申请专利范围第4项所述之设备,其中上述之第一线性导引包含一具有环状横断面的第一轴,而该第二线性导引包含一具有一环状横断面的第二轴。7.如申请专利范围第1项所述之设备,其中上述之第一线性导引包含一具有一环状横断面的轴。8.如申请专利范围第7项所述之设备,其中上述之第一滑车有一对与该轴接合的轮子,而该第二滑车有一对与该轴接合的轮子。9.如申请专利范围第1项所述之设备,其中上述之手臂实质上是等长的。10.如申请专利范围第1项所述之设备,其中上述之基材支撑件包含一基材支撑载盘。11.一种操作一基材搬运机器人之方法,该方法至少包含下列步骤:将两滑车在一线性导引上朝向彼此移动以伸展一藉由与该两滑车的连接而装设的机器手腕;以及将该两滑车在该线性导引上移动远离彼此以缩回该机器手腕。12.如申请专利范围第11项所述之方法,进一步包含藉由将该两滑车沿着该线性导引以同样的方向移动来沿着该线性导引传送该机器手腕。13.如申请专利范围第11项所述之方法,其中上述之移动该两滑车的步骤包含以一被磁性地耦合至该两滑车之驱动机构来驱动该两滑车。14.如申请专利范围第11项所述之方法,其中上述之移动该两滑车的步骤使该机器手腕水平移动。15.一种适于传送一基材之设备,至少包含:一线性导引;一第一滑车,适于沿着该线性导引行进;一第二滑车,适于沿着该线性导引行进;一基材支撑件;以及一将该基材支撑件装设在该第一和第二滑车的连接,以使该基材支撑件在该滑车朝向彼此被移动时被移至一伸展位置,而该基材支撑件在该滑车被移动远离彼此时被移至一收缩位置。16.如申请专利范围第15项所述之设备,进一步包含一驱动机构磁性地耦合至该第一滑车和该第二滑车。17.如申请专利范围第15项所述之设备,其中上述之连接包含一对手臂,每一手臂被枢轴地各自装设置该第一滑车和该第二滑车中的一个。18.一种制造半导体之系统,包含:一传送室;一线性导引,安装在该传送室内;一第一滑车,适于沿着该线性导引行进;一第二滑车,适于沿着该线性导引行进;一第一手臂,具有一枢轴地装设在该第一滑车上之第一端并具有一第二端;一第二手臂,具有一枢轴地装设在该第二滑车上之第一端并具有一第二端;及一基材支撑件,以一第一枢轴与该第一手臂的该第二端连接且以一第二枢轴与该第二手臂的该第二端连接的。19.一种传送室,至少包含:一封闭空间;一线性导引,安装在该封闭空间内;一第一滑车,适于沿着该线性导引行进;一第二滑车,适于沿着该线性导引行进;一第一手臂,具有一枢轴地装设在该第一滑车上之第一端并具有一第二端;一第二手臂,具有一枢轴地装设在该第二滑车上之第一端并具有一第二端;及一基材支撑件,以一第一枢轴与该第一手臂的该第二端连接且以一第二枢轴与该第二手臂的该第二端连接的。20.一种机器人,至少包含:一线性导引;一第一滑车,适于沿着该线性导引行进;一第二滑车,适于沿着该线性导引行进;一第一手臂,具有一枢轴地装设在该第一滑车上之第一端并具有一第二端;一第二手臂,具有一枢轴地装设在该第二滑车上之第一端并具有一第二端;及一基材支撑件,以一第一枢轴与该第一手臂的该第二端连接且以一第二枢轴与该第二手臂的该第二端连接。图式简单说明:第1图为显示在其内安装了根据本发明之一实施例所提供的晶圆搬运机器人之半导体制程设备的一部份的平面图示,该晶圆搬运机器人以伸展位置被显示出;第2图为与第1图相似的图示,显示该晶圆搬运机器人在收缩位置;第3图为取自第2图之线III-III的剖面图,显示属于晶圆搬运机器人的一部份之滑车的细部,并且也显示晶圆搬运机器人的驱动机构的一部份;第4图为显示晶圆搬运机器人之一滑车的侧面图,以及一个相应的属于晶圆搬运机器人之驱动机构的一部份之驱动车;以及第5图为显示属于第1图之晶圆搬运机器人的一部份之机器手腕的细部之平面图。 |
