| 主权项 |
1.一种化学机械抛光装置,包括:一镜台组件,用以固定一供化学机械抛光用之物体;一抛光垫主轴,其具有第一端点及第二端点;一机械式驱动器,其耦合至该第一端点以使该抛光垫主轴绕着一中心轴作旋转移动;及一抛光垫夹盘,其配置在该第二端点,有效地用于选择性地附着及离开一抛光垫;该抛光垫夹盘包含一承接头,该承接头具有一孔腔;该抛光垫夹盘尚包含复数连杆,每一连杆具有第一部份及第二部份;每一连杆系绕着枢轴旋转地耦合至该承接头,以致其第一部份延伸超过该承接头之外周边;每一连杆具有一锁扣位置,其中该第二部份与一承接于该孔腔中之抛光垫接触,以实现一种合作之夹紧作用,俾能将该抛光垫扣留在该承接头内,及如此使该抛光垫附着至该抛光垫夹盘。2.如申请专利范围第1项之装置,其中每一第二部份具有一接触该抛光垫用之抛光垫接触端点,当该连杆位于该锁扣位置时,该接触端点界定第一圆周;该第一圆周比该抛光垫之圆周小,藉此提供该夹紧作用。3.如申请专利范围第1项之装置,其中该连杆具有一释开位置,以在未接触该抛光垫时有效地定位该第二部份;该装置尚包含一分离站;该分离站具有隔开部份,该隔开部份以使该连杆绕着枢轴旋转进入该释开位置之方式接触该第一部份。4.如申请专利范围第3项之装置,其中该连杆由该锁扣位置绕着枢轴旋转至该释开位置以实现该抛光垫由该承接头之放出。5.如申请专利范围第3项之装置,其中该分离站系一环形套筒,其具有一直径足以围绕该承接头及接触该连杆之第一部份。6.如申请专利范围第1项之装置,其中该连杆具有一释开位置,以啮合该抛光垫侧边之方式有效地定位该第二部份,藉此在该抛光垫上方之抛光垫夹盘之往下运动作将使该连杆绕着枢轴旋转进入该锁扣位置。7.如申请专利范围第1项之装置,尚包含装入该连杆之隔膜。8.如申请专利范围第7项之装置,其中该隔膜包含一挠性聚合物材料。9.如申请专利范围第1项之装置,尚包含装入该承接头及该连杆之隔膜。10.一种化学机械抛光装置,包括:一镜台组件,用以固定一化学机械抛光用之物体;一抛光垫主轴,其具有第一端点及第二端点;一机械式驱动器,其耦合至该第一端点以使该抛光垫主轴绕着一中心轴作旋转移动;及一抛光垫夹盘,其配置在该第二端点,有效地用于选择性地附着及离开一抛光垫;该抛光垫夹盘包含一承接头,该承接头具有一孔腔;该抛光垫夹盘尚包含复数连杆,每一连杆具有第一部份及第二部份;每一连杆系绕着枢轴旋转地耦合至该承接头,以致其第一部份延伸超过该承接头之外周边;该连杆具有一锁扣位置,其中该第二部份与一承接于该孔腔中之抛光垫接触,藉此实现该抛光垫之一合作夹紧作用,以附着至该抛光垫夹盘;该连杆具有一释开位置,其中该第二部份不再与该抛光垫接触,以由该抛光垫夹盘分开该抛光垫。11.如申请专利范围第10项之装置,其中该第二部份包含具有预定形状之抛光垫接触端点,该抛光垫接触端点可有效地用于啮合具有互补形状之抛光垫部份。12.如申请专利范围第10项之装置,其中该连杆系装入一隔膜,以有效地保护免于受污染。13.如申请专利范围第12项之装置,其中该隔膜包含胺基甲酸酯。14.如申请专利范围第10项之装置,其中该承接头及该连杆系装入一隔膜,以有效地保护免于受污染。15.一种化学机械抛光系统,包括:一支撑台,用以支撑欲抛光之基板;一抛光组件,其具有用以使其绕着第一轴旋转之驱动机构,一抛光垫主轴,其在第一端点耦合至该驱动机构,及一抛光垫夹盘,其在该抛光垫主轴之第二端点耦合;一抛光垫分配器,其用以提供复数抛光垫;及一抛光垫容器,其用以承接来自该抛光垫夹盘之抛光垫;该抛光垫组件具有一载入位置,其中该抛光垫夹盘系以由该抛光垫分配器拿取一抛光垫之方式与该抛光垫分配器对齐;该抛光垫组件具有一不载入位置,其中该抛光垫夹盘系以松开该抛光垫至该抛光垫容器之方式与该容器对齐。16.如申请专利范围第15项之系统,其中该抛光垫夹盘包括:一承接头,该承接头具有一孔腔;及复数连杆,每一连杆具有第一部份及第二部份;每一连杆系绕着枢轴旋转地耦合至该承接头,以致其第一部份延伸超过该承接头之外周边;该连杆具有一锁扣位置,其中该第二部份与一承接于该孔腔中之抛光垫接触,藉此实现该抛光垫之一合作夹紧作用,以附着至该抛光垫夹盘;该连杆具有一释开位置,其中该第二部份不再与该抛光垫接触,以由该抛光垫夹盘分开该抛光垫。17.如申请专利范围第16项之系统,其中该抛光垫容器包括以将该连杆定位于该释开位置之方式与该连杆啮合之各部份。18.如申请专利范围第15项之系统,其中该料斗包括复数垂直堆叠之抛光垫。图式简单说明:图1A系根据本发明一具体实施例之简化抛光装置;图1B系根据本发明一具体实施例之抛光装置之另一详细图解;图2系根据本发明另一具体实施例之抛光装置之简化上视图;图3系根据本发明一具体实施例之驱动及盖子组件之简化图;图3A系根据本发明一具体实施例之组合盖子及抛光垫组件之简化图;图4系根据本发明一具体实施例之抛光垫简化图;及图5A及5B系本发明抛光垫装置之另一具体实施例之简化图示;图6显示图5A及5B中所示具体实施例之一上视图;图7系采用图5A及5B中所示另一具体实施例之抛光系统之概要代表图;图8与9显示图5A中所示具体实施例之一种变化。 |
