| 发明名称 | 钛的缓蚀 | ||
| 摘要 | 一种用来清除基材上的阻抗物、聚合物和/或刻蚀残余物的组合物,所述基材含有钛或钛合金,所述组合物含有羟胺或其衍生物以及至少一种具有如下通式(I)的化合物,其中:R<SUP>1</SUP>和R<SUP>3</SUP>各自独立地选自H、OH、CO<SUB>2</SUB>H、卤素、C<SUB>1</SUB>－C<SUB>3</SUB>烷基、C<SUB>1</SUB>－C<SUB>3</SUB>烷氧基或(CH<SUB>2</SUB>)<SUB>n</SUB>OH,其中n是1,2或3；R<SUP>2</SUP>选自C<SUB>9</SUB>－C<SUB>16</SUB>烷基或C<SUB>9</SUB>－C<SUB>16</SUB>烷氧基。 | ||
| 申请公布号 | CN1423835A | 申请公布日期 | 2003.06.11 |
| 申请号 | CN01808019.7 | 申请日期 | 2001.04.12 |
| 申请人 | EKC科技有限公司 | 发明人 | 杰罗姆·达维奥特;斯坦利·阿福罗斯曼;道格拉斯·霍姆斯 |
| 分类号 | H01L21/3213;H01L21/311 | 主分类号 | H01L21/3213 |
| 代理机构 | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人 | 丁香兰 |
| 主权项 | 1.一种用来清除基材上的阻抗物、聚合物和/或刻蚀残余物的组合物，所述基材含有钛或钛合金，所述组合物含有羟胺或其衍生物以及至少一种具有如下通式(I)的化合物：式(I)<img file="A0180801900021.GIF" wi="350" he="335" />其中：R<sup>1</sup>和R<sup>3</sup>各自独立地选自H、OH、CO<sub>2</sub>H、卤素、C<sub>1</sub>-C<sub>3</sub>烷基、C<sub>1</sub>-C<sub>3</sub>烷氧基或(CH<sub>2</sub>)<sub>n</sub>OH，其中n是1，2或3；R<sup>2</sup>选自C<sub>9</sub>-C<sub>16</sub>烷基或C<sub>9</sub>-C<sub>16</sub>烷氧基。 | ||
| 地址 | 英国苏格兰格拉斯哥 | ||