化学溶液输送装置和制备悬浮液的方法

摘要

一种用于输送化学溶液到外部设备的装置。该装置包括:用于制备悬浮液的备料罐；循环管,其连接到备料罐上以循环悬浮液；输送管,其连接在备料罐与外部设备之间,以向外部设备输送悬浮液；泵,其将备料罐中的化学溶液传送到循环管和输送管中；浓度检测器,其设置在泵的下游,用来检测悬浮液的浓度；控制器,其根据浓度检测器的检测值控制备料罐中化学溶液的浓度,并控制化学溶液的输送。

主权项

1.一种用于输送化学溶液到外部设备的装置，该装置包括：被供应有第一储液和第二储液的备料罐，其用来混合该第一和第二储液以制备化学溶液；循环管，其连接到所述备料罐上以循环正在制备的化学溶液；输送管，其连接在所述备料罐与外部设备之间，以向外部设备输送备料罐中存储的化学溶液；泵，用于将备料罐中的化学溶液传送给循环管和输送管；浓度检测器，其设置在泵的下游，用来检测化学溶液的浓度；控制器，用于根据浓度检测器的检测值控制备料罐中化学溶液的浓度，并用于控制化学溶液的输送。