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发明名称 METHOD FOR SELECTIVE METAL FILM LAYER REMOVAL USING CARBON DIOXIDE JET SPRAY
摘要
申请公布号 EP1317767(A1) 申请公布日期 2003.06.11
申请号 EP20010970888 申请日期 2001.09.12
申请人 ECO-SNOW SYSTEMS, INC. 发明人 BOWERS, CHARLES, W.
分类号 H01L21/28;H01L21/3065;H01L21/3213;(IPC1-7):H01L21/027;H01L21/321 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
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