发明名称 碲锌镉晶体退火改性方法
摘要 本发明涉及一种碲锌镉晶体退火改性方法,本方法针对布里奇曼法生长的碲锌镉晶锭中切出的晶片,通过退火改性来提高晶片成分的均匀性和电阻率,达到制造X射线及γ射线探测器的要求。先选用原子百分比为Cd∶Zn=100∶1的金属液作为液相退火介质和气相退火的退火源,再设计石英安瓿及封装晶片,设计可翻转退火炉,将装有碲锌镉晶片的石英安瓿装入退火炉并使之呈60°倾斜,使晶片端位于上炉,退火源位于下炉。用10小时将上炉与下炉分别升到600℃及450℃并在此温度下保温60小时。使退火炉呈-60°倾斜,晶片浸没于退火介质中,以每小时30℃将上炉温度降到和下炉同是450℃,在该温度下保温60小时。再使退火炉呈60°倾斜,退火介质与晶片彻底分离。该方法简单可靠、成本低、工艺过程安全。
申请公布号 CN1422995A 申请公布日期 2003.06.11
申请号 CN01131807.4 申请日期 2001.11.30
申请人 西北工业大学 发明人 介万奇;李国强;李宇杰;张晓娜;谷智
分类号 C30B33/02;C30B29/46 主分类号 C30B33/02
代理机构 西北工业大学专利中心 代理人 王鲜凯
主权项 1、一种碲锌镉晶体退火改性方法,其特征在于:首先选择Cd和Zn金属液作为液相退火环境介质和气相退火的退火源;再设计石英安瓿及封装晶片;设计可翻转退火炉,在同一炉内完成气相退火、液相退火、液相分离与冷却等步骤来提高晶体材料中的成分均匀性和电阻率。
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