硬质涂层硬度的测量方法

摘要

一种硬质涂层硬度的测量方法属于材料性能测试领域。采用微力学探针技术首先对涂层/基体复合体进行足以使压头前端变形区扩展到基材的载荷进行第一步压入检测,计录压入过程中压入载荷与压头压入涂层深度的变化关系,进而通过压入深度的变化,计算出涂层/基材复合体在受载条件下的硬度,并作出涂层/基材复合体受载硬度随压入载荷的变化曲线,从以上曲线中选取高硬度平台区压入载荷进行小载荷第二步压入检测,进而得到不受基体变形影响的涂层硬度值。本发明可使对硬质涂层的硬度测量不预先知道确切厚度时进行,并具有准确、可靠的特点。

主权项

1.一种硬质涂层硬度的测量方法，其特征在于，采用微力学探针技术首先对涂层/基体复合体进行足以使压头前端变形区扩展到基材的载荷进行第一步压入检测，计录压入过程中压入载荷与压头压入涂层深度的变化关系，进而通过压入深度的变化，计算出涂层/基材复合体在受载条件下的硬度，并作出涂层/基材复合体受载硬度随压入载荷的变化曲线，从以上曲线中选取高硬度平台区压入载荷进行小载荷第二步压入检测。