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经营范围
发明名称
Capacitor for an intergrated circuit and its fabrication method
摘要
申请公布号
EP0971392(B1)
申请公布日期
2003.06.11
申请号
EP19990118170
申请日期
1995.12.06
申请人
MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO., LTD.
发明人
UEMOTO, YASUHIRO;FUJII, EIJI;SHIMADA, YASUHIRO;AZUMA, MASAMICHI;ARITA, KOJI;NAGANO, YOSHIHISA;INOUE, ATSUO;IZUTSU, YASUFUMI
分类号
H01L21/02;H01L21/314;H01L27/115;(IPC1-7):H01L21/02;H01L21/824
主分类号
H01L21/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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