发明名称 | 透明导电膜、其形成方法与具有该透明导电膜的物品 | ||
摘要 | 本发明提供一种安全性高、生产性好、具有良好的光学及电特性、在塑料薄膜基材上的良好的临界曲率半径的透明导电膜的形成方法,采用该方法形成的透明导电膜与具有该透明导电膜的物品。所述形成方法包括如下步骤:将反应性气体导入放电空间,通过在大气压或大气压附近的压力下放电,激发反应性气体成为等离子体状态,将基材暴露于前述等离子体状态的反应性气体中,在前述基材上形成透明导电膜,其中,前述反应性气体含有还原性气体。 | ||
申请公布号 | CN1422979A | 申请公布日期 | 2003.06.11 |
申请号 | CN02152989.2 | 申请日期 | 2002.11.29 |
申请人 | 柯尼卡株式会社 | 发明人 | 辻稔夫;伊藤博人;清村贵利 |
分类号 | C23C16/50;C23C16/30 | 主分类号 | C23C16/50 |
代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人 | 王健 |
主权项 | 1.透明导电膜形成方法,包括下述步骤:将反应性气体导入放电空间,通过在大气压或大气压附近的压力下放电,激发反应性气体成为等离子体状态,将基材暴露于前述等离子体状态的反应性气体,在前述基材上形成透明导电膜,其中,前述反应性气体含有还原性气体。 | ||
地址 | 日本东京都 |