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发明名称 ARTICLE WITH THERMOCHEMICALLY STABLE, AMORPHOUS LAYER COMPRISING TANTALUM OR TANTALUM-CONTAINING MATERIAL
摘要
申请公布号 AU2002360253(A1) 申请公布日期 2003.06.10
申请号 AU20020360253 申请日期 2002.10.03
申请人 3M INNOVATIVE PROPERTIES COMPANY 发明人 JONATHAN, G. STORER;BRUCE, C. WILLIAMS
分类号 H01L39/24;(IPC1-7):H01L39/14 主分类号 H01L39/24
代理机构 代理人
主权项
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