| 发明名称 |
METHODS OF FABRICATING HIGHLY CONDUCTIVE REGIONS IN SEMICONDUCTOR SUBSTRATES FOR RADIO FREQUENCY APPLICATIONS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2002352783(A1) |
申请公布日期 |
2003.06.10 |
| 申请号 |
AU20020352783 |
申请日期 |
2002.11.19 |
| 申请人 |
THE REGENTS OF THE UNIVERSITY OF CALIFORNIA |
发明人 |
KING-NING TU;YA-HONG XIE;CHANG-CHING YEH |
| 分类号 |
H01L21/76;H01L23/552;(IPC1-7):H01L29/00 |
主分类号 |
H01L21/76 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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