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发明名称
摘要
申请公布号
JP2003518769(A)
申请公布日期
2003.06.10
申请号
JP20010548430
申请日期
2000.10.11
申请人
发明人
分类号
H01L21/02;G03F7/20;(IPC1-7):H01L21/02
主分类号
H01L21/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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