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发明名称
Устройство перемещени зонда дл нанотехнологии
摘要
申请公布号
RU30030(U1)
申请公布日期
2003.06.10
申请号
RU20020128278U
申请日期
2002.10.29
申请人
Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образовани Московский государственный институт электроники и математики (технический университет)
发明人
Ивашов Е.Н.;Степочкин А.А.
分类号
H01L41/00
主分类号
H01L41/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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