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发明名称
METHOD FOR DETERMINING AT LEAST ONE CHARACTERISTIC VARIABLE WHICH IS CHARACTERISTIC OF THE DISTRIBUTION OF THE ILLUMINATION ANGLE OF A LIGHT SOURCE USED TO ILLUMINATE AN OBJECT IN A PROJECTION LIGHTING SYSTEM
摘要
申请公布号
AU2002356748(A1)
申请公布日期
2003.06.10
申请号
AU20020356748
申请日期
2002.11.28
申请人
CARL ZEISS SMT AG
发明人
NILS DIECKMANN
分类号
G01J1/00;G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/20
主分类号
G01J1/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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