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发明名称
A THERMAL ANNEALING WITH RAPID THERMAL ANNEALING SYSTEM AND METHOD
摘要
申请公布号
AU2002359531(A1)
申请公布日期
2003.06.10
申请号
AU20020359531
申请日期
2002.11.26
申请人
VARIAN SEMICONDUCTOR EQUIPMENT ASSOCIATES, INC.
发明人
DANIEL, F. DOWNEY;EDWIN, A. AREVALO
分类号
H01L21/265;H01L21/00;H01L21/268;H01L21/324;(IPC1-7):H01L21/324
主分类号
H01L21/265
代理机构
代理人
主权项
地址
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