| 发明名称 |
Process window based optical proximity correction of lithographic images |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US6578190(B2) |
申请公布日期 |
2003.06.10 |
| 申请号 |
US20010759013 |
申请日期 |
2001.01.11 |
| 申请人 |
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION |
发明人 |
FERGUSON RICHARD A.;LAVIN MARK A.;LIEBMANN LARS W.;WONG ALFRED K. |
| 分类号 |
G03F9/00;G03F9/02;G06F17/50;G06F19/00;G06K9/74;G21K5/00;(IPC1-7):G06F17/50 |
主分类号 |
G03F9/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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