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发明名称
INSULATION TRENCH FOR AN INTEGRATED CIRCUIT AND METHOD FOR PRODUCTION THEREOF
摘要
申请公布号
AU2002364274(A1)
申请公布日期
2003.06.10
申请号
AU20020364274
申请日期
2002.11.15
申请人
AUSTRIAMICROSYSTEMS AG
发明人
MARTIN SCHREMS
分类号
H01L21/762;H01L21/764;H01L21/8234;(IPC1-7):H01L21/762
主分类号
H01L21/762
代理机构
代理人
主权项
地址
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