| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR COMPONENT HANDLING DEVICE HAVING A PERFORMANCE FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2002346528(A1) |
申请公布日期 |
2003.06.10 |
| 申请号 |
AU20020346528 |
申请日期 |
2002.11.26 |
| 申请人 |
ENTEGRIS, INC. |
发明人 |
SANJIV, M. BHATT;SHAWN, D. EGGUM |
| 分类号 |
B65D85/86;B29C45/14;B29K101/12;B29L9/00;B65H1/28;H01L21/673 |
主分类号 |
B65D85/86 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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