| 发明名称 |
Method for polishing a substrate surface |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2002365979(A8) |
申请公布日期 |
2003.06.10 |
| 申请号 |
AU20020365979 |
申请日期 |
2002.11.20 |
| 申请人 |
RENSSELAER POLYTECHNIC INSTITUTE |
发明人 |
JAVIER MARTINEZ LOPEZ;LEO J. SCHOWALTER;CARLOS J. ROJO;KENNETH MORGAN |
| 分类号 |
B24B37/04;C09G1/02;H01L21/02;H01L21/304;H01L21/306;(IPC1-7):B24B37/04;H01L21/321 |
主分类号 |
B24B37/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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