| 发明名称 |
PROCESSING DEVICE, AND GAS DISCHARGE SUPPRESSING MEMBER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2002355042(A1) |
申请公布日期 |
2003.06.10 |
| 申请号 |
AU20020355042 |
申请日期 |
2002.11.27 |
| 申请人 |
TOKYO ELECTRON LIMITED |
发明人 |
KAZUYA NAGASEKI;TOMOYA KUBOTA;DAISUKE HAYASHI;SHINJI HIMORI;SHOSUKE ENDOH |
| 分类号 |
C23C16/00;H01L21/00;H01L21/3065;H01L21/683;(IPC1-7):H01L21/306 |
主分类号 |
C23C16/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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