| 发明名称 |
PARTICLES FOR USE IN CMP SLURRIES AND METHOD FOR PRODUCING THEM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2002359356(A1) |
申请公布日期 |
2003.06.10 |
| 申请号 |
AU20020359356 |
申请日期 |
2002.11.06 |
| 申请人 |
FERRO CORPORATION |
发明人 |
XIANGDONG FENG;YIE-SHEIN HER |
| 分类号 |
C01F17/00;C01G23/04;C01G23/053;C03C19/00;C09C1/36;C09C1/68;C09K3/14;(IPC1-7):C09K3/14;C09G1/02;C09C3/06 |
主分类号 |
C01F17/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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