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发明名称
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申请公布号 JP2003518734(A) 申请公布日期 2003.06.10
申请号 JP20010537773 申请日期 2000.11.14
申请人 发明人
分类号 H05H1/46;H01J37/32;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H05H1/46
代理机构 代理人
主权项
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